SC 7620 "MINI" naprašovačka s manuálním ovládáním, průměr válce 110 mm. Analogové ovládání. Vhodná pro SEM (nikoliv pro FEG-SEM).

Přístroj s 1,2 kV napájením, obsahuje měřidlo vakua, miliampérmetr, 180 s hodiny s 15 s rozlišením, výškově nastavitelný držák vzorku, válec z Pyrexového skla (průměr 100 mm) s těsněním O-kroužek, naprašovací hlava s magnetickou výchylkou s Au/Pd terčíkem, 1 m vakuovou hadici s vnitřním průměrem 12 mm s přípojkami. Je určený pro rutinní aplikace, používá základní magnetronovou hlavu s jednoduchou výměnou terčíku. Hlava je sklápěcí pro snadnou manipulaci a je upevněna elektrickými bezpečnostními západkami. Plasmový tok je nastavitelný pomocí hladiny vakua, které se reguluje ventilem. Napětí plasmatu je přednastaveno. Plynový dávkovač zajišťuje, že argon vstupuje do komory blízko vzniku plasmatu a tím se maximálně zvyšuje efektivita naprašování. Odvětrává se argonem. Válec z Pyrexu je nasazen do hliníkové objímky a utěsněn O - kroužkem. Malá vakuová komora znamená kratší dobu čerpání a tím rychlejší cyklus, což dovoluje použít malou ekonomickou rotační pumpu. Držák vzorku je výškově nastavitelný v širokém rozsahu a může být jednoduše odstraněn pro vytvoření prostoru pro velké vzorky. Systém je ovládán ručně pomocí hodin. Tlak a plasmový tok jsou sledovány analogovými měřidly. SC7620 může být snadno přeměněn k naprašování uhlíku přidáním volitelné odpařovačky uhlíku s přepínatelným napájením a hlavou s uhlíkovým vláknem.

Domovská stránka Quorum Technologies www.quorumtech.com

 nahoru