Q150T Vysokorozlišovací naprašovačka kovů / uhlíku
Q150T je kompaktní nanášecí systém s turbomolekulárním čerpadlem vhodný pro SEM, TEM a mnoho dalších aplikací používajících tenký film. Q150T nahrazuje předchozí modely K575X a K950X.
Q150T je k dispozici ve třech verzích:
Q150T S – vysokorozlišovací naprašovačka vhodná pro oxidující a neoxidující kovy, součástí je terčík chróm
Q150T E – vysokovakuová odpařovačka uhlíku pro SEM a TEM aplikace, osazená vložkou pro uhlíkovou tyčinku
Q150T ES – vysokorozlišovací naprašovačka a vysokovakuová odpařovačka uhlíku, obsahující terčík chróm a vysokovakuovou odpařovačku uhlíkových tyčinek pro uhlíkovou tyčinku.
K dispozici je široká paleta doplňkových modulů.
Q150T: základní údaje
- Pracovní komora: 150 mm průměr × 127 mm výška + ochrana proti implozi
- Rotační stolek standardně
- Nutné rotační čerpadlo 50 l/min
- Standardně Piraniho měřidlo – měřidlo celého rozsahu je volitelné
- Typické mezní vakuum: 5 × 10-5mbar
- Rozsah vakua naprašování: mezi 5 × 10-3 až 5 × 10-1 mbar
- Naprašování: 0 – 150 mA
- Odpařování uhlíku: 1 – 90 A
|
Dotykový displej: 145 mm (úhlopříčka), snadné vkládání dat |
Typický běh (naprašování chrómu) |
|
|
Naprašovací hlavy:
- Naprašování(standardně u Q150T S a Q150T ES)
- Odpařování uhlíkové tyčinky(standardně u Q150T E a Q150T ES)
- Odpařování uhlíkového vlákna(volitelně u Q150T E a Q150T ES)
- Odpařování kovu(volitelně u Q150T E a Q150T ES)
Naprašovací vložka
Naprašovačka:
- Magnetronová hlava s 0 – 150 mA
- Pro oxidující a neoxidující kovy
- Maximální běh až 60 minut – bez přerušení vakua – velmi užitečné pro silné povrstvení)
Odpařování uhlíkové tyčinky:
- Používá uhlíkové tyčinky 3,05 mm = méně ztrátové než tyčinky 6,15 mm
- Moderní "přilepení odolné" uhlíkové dělo = reprodukovatelné výsledky
- Ovládání profilu odpařování = reprodukovatelné uhlíkové filmy
- Součástí je ruční ořezávátko tyčinek s novou konstrukcí
- Vhodné pro TEM a SEM
Vložka pro uhlíkovou tyčinku |
Odpařování uhlíkového vlákna:
- Používá šňůru uhlíkového vlákna
- Vhodné pro SEM
Vložka pro uhlíkové vlákno |
| |
Odpařování kovu / vložka čištění clon
- Dodáváno s wolframovými košíčky (10) a molybdenovou “lodičkou”
- Pro některé TEM aplikace
- Tenké filmy (ne pro elektronovou mikroskopii)
- Molybdenovou lodičku lze použít pro "jiskrové" čištění clon EM
Vložka odpařování kovu |
Vložka odpařování kovu (volitelná)
- Je dodávána s nástavbou elektrody umožňující odpařování směrem vzhůru
- Odpařování směrem vzhůru je lepší (čistší nanášení), ale stinnou stránkou je, že vzorek musí být přichycen na místě
Vložka odpařování kovu |
Inteligentní logické rozeznání vložky:
- Q150T "pozná", která vložka je instalovaná, a pro tuto vložku nabídne správné nastavení.
Volitelné stolky
Rotační stolek (standardně dodávaný)
- Všechny stolky jsou "zasunovací", žádné šrouby nebo svorky = velmi snadná výměna
- Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)
- Standardní stolek se otáčí, ale nelze jej naklánět
|
Volitelný stolek na vzorek: náklonný / rotační stolek
- Úhel náklonu lze manuálně nastavit před vlastním během (úhel náklonu se nemění během cyklu)
- Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)
|
 |
 |
Rotační stolek (na obrázku s monitorem tloušťky vrstvy) |
Rotační – nakloněný stolek (na obrázku s monitorem tloušťky vrstvy) |
| |
|
Planetární "Rotacota" stolek
- Dvojité otáčení = zajišťuje rovnoměrné potažení nepravidelných vzorků
- Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)
Planetární "Rotacota" stolek |
Stolek na skleněná podložní sklíčka
- Může nést jedno nebo dvě standardní mikroskopická sklíčka
- Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)
- Je-li připojen FTM, je třeba použít převodovku stolku
Stolek na mikroskopická sklíčka |
| |
|
Stolek na polovodičové oplatky
- Pro 4" (100mm) křemíkové oplatky
- Měnitelná rychlost (8 – 20 otáček za minutu)
- Je-li připojen FTM, je třeba použít převodovku stolku
|
Monitor tloušťky vrstvy (FTM)
- Lze použít se všemi stolky na vzorek
- Měří a ovládá tloušťku filmu
|
|
|
Stolek na polovodičové oplatky |
Monitor tloušťky vrstvy (FTM) |
Domovská stránka Quorum Technologies www.quorumtech.com
 nahoru
|
