Univerzální iontová frézka IV7
Nový model IV7 iontových frézek Technoorg je určen pro extrémně rychlé zpracování kvalitních TEM / XTEM vzorků s bezkonkurenčně vysokou rychlostí ztenčování. Konstrukce přístroje umožňuje jak rychlé vymílání zdrojem iontů ušlechtilého plynu s ultra vysokou energií, tak finální leštění a čištění patentovaným nízkoenergetickým iontovým dělem.

Aplikace
Univerzální iontová frézka IV7 se doporučuje uživatelům vyvíjejícím nové materiály a nové metody přípravy vzorku, a díky své extrémní rychlosti vymílání se také doporučuje při studiu materiálů s velmi nízkou mírou naprašování, jako diamant, safír, atd. Jeho exkluzivní schopnost produkovat vzorky bez poškození a artefaktů bombardováním ionty s nízkou energií poskytuje jedinečnou příležitost ke studiu reálných nanostruktur v syntetických a přírodních materiálech ve všech oborech technických věd a výzkumu materiálů.
Nejmodernější iontové zdroje
Univerzální iontová frézka IV7 obsahuje dva nezávisle řízené iontové zdroje: jeden s fokusovaným iontovým dělem s vysokou nebo ultra vysokou energií a jeden s fokusovaným iontovým dělem s nízkou energií.
Iontové zdroje s vysokou a ultra vysokou energií
Tyto zdroje Technoorg poskytují nejvyšší rychlost vymílání na trhu. Iontové dělo pracující až při 20 keV je speciálně navržen pro přípravu TEM vzorků materiálů s velmi nízkou rychlostí vymílání.
Iontový zdroj s nízkou energií
Výjimečná konstrukce iontového zdroje umožňuje dosáhnout vysokou proudovou hustotu svazku v celém pracovním rozsahu. Svazek s extrémně nízkou energií iontů vzácného plynu zajišťuje minimalizaci poškození povrchu a amorfizaci vyvolanou iontovým svazkem.
Ovládání iontového zdroje
Všechny parametry iontového děla včetně urychlovacího napětí a proudu svazku jsou automaticky řízeny digitální zpětnou vazbou, ale vždy je lze v průběhu procesu přípravy vzorku ručně změnit. Počáteční hodnoty parametrů iontového zdroje se nastavují automaticky nebo ručně, a jsou nepřetržitě sledovány a zobrazovány na počítači.
Automatizovaný provoz
Model IV7 iontových fréz Technoorg je vybaven plně počítačovým ovládáním využívající snadno použitelné grafické rozhraní. Všechny parametry včetně napětí elektrod, průtoku pracovního plynu, posunu/náklonu vzorku a další parametry načasování procesu a detekce perforace lze uložit nebo předem naprogramovat v libovolném počtu kroků. Tato plně automatizované funkce IV7 umožňuje produkovat vysoce kvalitní vzorky s minimálním zásahem uživatele.
ON-LINE sledování a podpora
IV7 je dodáván se softwarovým rozšířením pro on-line technickou podporu, která umožňuje okamžité zjištění chyb a eliminaci problémů přes internet.
Specifikace:
Iontové zdroje |
zdroj s vysokou energií |
energie: 2000 - 10000 eV, kontinuálně nastavitelné |
|
|
proudová hustota iontů: max. 100 mA/cm2 |
|
|
proud svazku: 150 µA |
|
|
průměr svazku: 300 - 600 µm (FWHM) |
|
|
rychlost: 180 µm/hod na c-Si při energii 10000 eV a 30° úhlu dopadu svazku |
| |
zdroj s ultra vysokou energií |
energie: 2000 - 20000 eV, kontinuálně nastavitelné |
| |
|
proudová hustota iontů: › 150 mA/cm2 |
| |
|
proud svazku: 250 µA |
| |
|
průměr svazku: 100 - 300 µm (FWHM) |
| |
|
rychlost: 300-600 µm/hod na c-Si při energii 16000 až 20000 eV a 45° úhlu dopadu svazku |
| |
zdroj s nízkou energií |
energie: 100 - 2000 eV, kontinuálně nastavitelné |
| |
|
proudová hustota iontů: max. 10 mA/cm2 |
| |
|
proud svazku: 7 - 80 µA |
| |
|
průměr svazku: 750 - 1200 µm (FWHM) |
| |
|
rychlost: 28 µm/hod na c-Si při energii 2000 eV a 30° úhlu dopadu svazku |
|
|
|
Stolek vzorku: |
úhel vymílání |
0° až 45°, elektronicky nastavitelné v přírůstcích 0,1° |
|
Počítačem řízená rotace a oscilace vzorku v rovině (rozsah 0° až 120°,
elektronicky nastavitelná v přírůstcích 10°) |
|
Široký rozsah tloušťky přijatých TEM vzorků (30 - 200 µm) |
Zobrazovací systém: |
- CCD kamera pro vizuální kontrolu a dohled nad vymíláním/přerušením
- vysokorozlišovací barevná CCD kamera
- manuální zoom se zvětšením 50-400
|
Počítačové ovládání: |
- vestavěný průmyslový PC
- snadno použitelné grafické uživatelské rozhraní s modulem zpracování obrazu
- na uživateli nezávislé nastavení iontového zdroje včetně regulace průtoku plynu motorizovaným jehlovým ventilem
- Předem naprogramované předpisy pro automatické nastavení mechanických a elektronických parametrů vymílání (manuální nastavení je možné)
- automatické vkládání vzorku
- automatické přerušení: optické přerušení procesu vymílání podporované modulem analýzy obrazu (detekce perforace vzorku nebo sledování topografie povrchu
|
Systém dodávání plynu |
- Argon s čistotou 99.999% s absolutním tlakem 1,3 - 1,7 barů
- regulátor tlaku pro vzácné plyny s elektronickým sledováním výstupního tlaku
- vysoce přesné ovládání průtoku procesního plynu s motorizovaným jehlovým ventilem
|
Vakuový systém: |
vakuový systém Pfeiffer s bezolejovým diafragmovým a turbomolekulárním čerpadlem s kompaktním celorozsahovým měřidlem vakua Pirani/Penning |
Domovská stránka TECHNOORG LINDA www.technoorg.hu
nahoru |