Pracovní stanice s iontovým svazkem pro přípravu TEM/FIB vzorků nejvyšší kvality

Gentle Mill

Série Gentle Mill firmy Technoorg je určena pro finální leštění, snadné čištění a zlepšení vzorků dříve ošetřených standardním vysokoenergetickým iontovým vymíláním nebo FIB kolonou. Modely Gentle Mill se doporučují pro uživatele, kteří chtějí připravit

bez artefaktu a
téměř nepoškozené

XTEM, HRTEM nebo STEM vzorky nejlepší možné kvality. Tyto iontové mlýny jsou vhodné i pro rychlé ztenčování dolíčkovatých nebo tenkých (‹ 25 µm) planárních mechanicky leštěných vzorků.

Iontový zdroj s nízkou energií

Pracovní stanice s iontovým svazkem Gentle Mill pracují s vynikající patentovanou horkou katodou nízkoenergetického iontového zdroje. Extrémně nízká energie iontového svazku zajišťuje minimalizaci poškození povrchu a iontovým svazkem vyvolanou amorfizaci. Výjimečná konstrukce iontového zdroje umožňuje vysokou hustotu proudu svazku. Všechny parametry iontového děla včetně urychlovacího napětí a proudu katody jsou řízeny automaticky digitální zpětnou vazbou, ale v průběhu procesu přípravy vzorku je lze kdykoli ručně změnit. Počáteční hodnoty parametrů iontového zdroje se nastavují automaticky nebo ručně, a jsou průběžně zobrazovány na obrazovce počítače.

Příprava vzorků bez artefaktů

Exkluzivní schopnost Gentle Mill produkovat nepoškozené vzorky při ozáření ionty s nízkou energií poskytuje jedinečnou příležitost ke studiu reálných nanostruktur v syntetických a přírodních materiálech ve všech oborech technických věd a výzkumu materiálů.

Automatizovaný provoz

Modely Gentle Mill třetí generace jsou plně řízeny počítačem s využitím snadno použitelného grafického rozhraní. Všechny parametry vymílání včetně nastavení iontového zdroje, ovládání průtoku plynu, nastavení dalších parametrů, jako je pohyb a náklon vzorků, detekce perforace lze uložit, nebo předem naprogramovat v libovolném počtu kroků. Tato plně automatická funkce umožňuje vytvářet vysoce kvalitní vzorky s minimálními zásahy uživatele. Gentle Mill 3 je dodáván se softwarem rozšíření pro in-line podporu, která umožňuje okamžité zjištění chyb a eliminaci problémů přes internet.

Specifikace:

Iontový zdroj s nízkou energií (jeden fixní typ)	energie	100 - 2000 eV, kontinuálně nastavitelné
	proudová hustota iontů:	max. 10 mA/cm²
	proud svazku	7 - 90 µA, kontinuálně nastavitelné
	průměr svazku	750 - 1200 µm (FWHM)
	průtok plynu	Ručně (mod. IV5) nebo elektronicky optimalizovaný průtok pracovního plynu (mod. IV8)
	rychlost:	28 µm/hod na c-Si při energii 2000 eV a 30° úhlu dopadu svazku
Stolek vzorku:	úhel vymílání	0° až 45°, elektronicky nastavitelné v přírůstcích 0,1°
	Počítačem řízená rotace a oscilace vzorku v rovině (rozsah 0° až 120°, elektronicky nastavitelná v přírůstcích 10°)
	Široký rozsah tloušťky přijatých TEM vzorků (30 - 200 µm)
Manipulace se vzorkem:	systém load-lock pro rychlou výměnu vzorku plně mechanický systém vkládání vzorků bez lepidla speciálně konstruované titanové rámečky a technologie zapouzdření pro XTEM vzorky
Vakuový systém:	vakuový systém Pfeiffer s bezolejovým diafragmovým a turbomolekulárním čerpadlem s kompaktním celorozsahovým měřidlem vakua Pirani/Penning
Systém dodávání plynu	Argon s čistotou 99.999% s absolutním tlakem 1,3 - 1,7 barů regulátor tlaku pro vzácné plyny s elektronickým sledováním výstupního tlaku vysoce přesné ovládání průtoku procesního plynu s motorizovaným jehlovým ventilem pro mod. IV8
Zobrazovací systém:	CCD kamera pro vizuální kontrolu a dohled nad vymíláním/přerušením vysokorozlišovací barevná CCD kamera manuální zoom se zvětšením 50-400
Počítačové ovládání:	vestavěný průmyslový PC snadno použitelné grafické uživatelské rozhraní s modulem zpracování obrazu snadné ovládání všech parametrů kliknutím a tažením myší vysoce automatický pracovní režim s minimálními zásahy obsluhy (mod. IV8) Předem naprogramované nebo manuálně nastavené cykly vymílání a leštění Automatické přerušení: optické přerušení procesu vymílání podporované modulem analýzy obrazu (detekce perforace vzorku nebo sledování topografie povrchu

Domovská stránka TECHNOORG LINDA www.technoorg.hu

top nahoru