Zařízení pro přípravu vzorků TECHNOORG LINDA

Moderní SEM vyšetřování vyžaduje vysoce kvalitní SEM vzorky bez artefaktů s minimálním poškozením jejich povrchu. Nový systém přípravy vzorků Technoorg SC-1000 SEM postavený na osvědčené technice vymílání iontovým svazkem dává povrch vzorku, který zcela splňuje tyto požadavky.

Systém pro přípravu SEM vzorků SC-1000

pro vysoce kvalitní přípravu místně specifických vzorků pro SEM aplikace

Příprava řezů vzorků šikmým řezáním

Finální leštění a čištění tradičních SEM a EBSD vzorků

Vysoká energie iontového děla pro rychlé vymílání

Nízká energie iontového děla pro jemné leštění a čištění povrchu

Automatické nastavení parametrů a činnost

Otáčení a oscilace vzorku

Příprava vzorků s vysoce přesným polohováním

Monitorování procesu vymílání v reálném čase pomocí vysokorozlišovací CCD kamery a TFT monitoru

Popis

Model SC-1000 je vybaven iontovým zdrojem jak s vysokou, tak nízkou energií. Rychlé šikmé řezání iontovým zdrojem s vysokou energií následované jemným čištěním povrchu iontovým zdrojem s nízkou energií dává řezy SEM vzorky pro analýzu poruch polovodičů a další analytické účely. Systém také poskytuje řešení založené na iontovém frézování pro zlepšování a čištění mechanicky leštěných SEM vzorků a přípravu bez poškození ploch pro techniku EBSD.

Specifikace:

Iontové zdroje:	dvě iontová děla:	fokusované iontové dělo s vysokou energií od 2k eV do 10k eV fokusované iontové dělo a nízkou energií od 100 eV do 2 keV kontinuálně nastavitelná a nezávislá energie vymílání
	proudová hustota svazku:	max. 100 mA/cm² pro zdroj s vysokou energií max. 10 mA/cm² pro zdroj s nízkou energií
	rychlost:	180 µm/hod na Si při 30° pro zdroj s vysokou energií 28 µm/hod na Si při 30° pro zdroj s nízkou energií
Stolek vzorku:	velikost vzorku	držák vzorku pro šikmé vymílání: max. 17mm × 17mm × 4mm držák vzorku pro čištění povrchu (EBSD): max: průměr 25mm × 15mm
	polohování vzorku:	vysoce přesné polohování pro řezání: přesnost 2 µm
	náklon vzorku:	0° až 30° s přírůstkem 0,1°
	rotace vzorku:	rotace v rovině, 360°
	oscilace vzorku:	rovinná oscilace v ± 10° do 60° rozsahu
Manipulace se vzorkem:	systém load-lock pro rychlou výměnu vzorku
Vakuový systém:	bezolejová diafragmová a turbomolekulární čerpadla s kombinovaným měřidlem vakua (Pirani/Penning)
Systém dodávání plynu	Argon s čistotou 99.999% vysoce přesné ovládání průtoku procesního plynu s motorizovaným jehlovým ventilem
Zobrazovací systém:	vysokorozlišovací CCD kamera s manuálním zoomem se zvětšením 50-400×
Počítačové ovládání:	snadno použitelné grafické uživatelské rozhraní s volitelným modulem zpracování obrazu automatické nastavení iontového zdroje, parametrů vymílání a ovládání činnosti

Domovská stránka TECHNOORG LINDA www.technoorg.hu

top nahoru