Pracovní stanice V600 FIB je plně digitální nástroj fokusovaného iontového svazku (FIB) pro vymílání a zobrazování,
který je vhodný pro úpravu polovodičů, analýzu defektů, přípravu TEM vzorků a vyhodnocení procesů s použitím
oplatek, jednotlivých čipů a/nebo celých částí v laboratorních podmínkách.
Specifikace stanice V600 FIB jsou uvedeny níže v tabulce.
Specifikace V600 FIB |
Iontová optika: |
FIB kolona Sidewinder- iontový zdroj kapalné kovové gallium (LMIS) |
Životnost zdroje |
cca 1000 hodin |
Rozlišení |
5 nm |
urychlovací napětí |
2 - 30 kV |
proud svazku: |
1,5 pA - 20 nA v 15 krocích |
Přerušovač svazku standardně - externí ovládání možné |
Vakuum v komoře |
< 2,6 × 10-6 mBar |
Detektory |
Kontinuální dynodový elektronový násobič (CDEM) |
Vakuový systém |
zcela bezolejový systém |
1 × TMP 240 l/s |
1 × PVP |
1 × IGP |
doba odčerpání (vysoké vakuum) < 5,0 minut |
Komora |
379 mm zleva doprava |
16,5 mm pracovní vzdálenost |
21 portů |
Stolek vzorku |
eucentrický goniometr motorizovaný v 5 osách |
X, Y = 150 mm |
Z = 10 mm |
Oběžný průměr = max. 55 mm k eucentrickému bodu |
náklon = -10° až +60° |
otáčení: 360° kontinuálně |
Minimální krok: 100 nm |
Ovládání systému |
32-bitové grafické uživatelské rozhraní s Windows®XP, klávesnice, optická myš, multifunkční ovládací panel
(volitelný) a joystick (volitelný) |
obrazový displej |
2 × 19" LCD monitor, SVGA 1280 × 1024 |
Standardní technické vybavení |
pomocný počítač |
iRTM (integrovaný monitor v reálném čase) pro zobrazení vymílání na obrazovce |
grafické uživatelské rozhraní "Beam per Quad" |
Depozice a vymílání: linií, čtyřstěnů, otevřených čtyřstěnů, polygonů, kružnic, řezů a čištění řezů |
Modely založené na současném a importovaném obrazu |
Přímé importování BMP souboru pro 3D vymílání |
Digitální procesor obrazu |
prodleva: 50 ns - 1 ms |
11 přednastavení |
rozlišení zobrazení až do 3584 × 3094 pixelů |
typ souborů: TIFF (8 nebo 16 bitů), BMP nebo JPEG |
zobrazení v jednom rámu nebo ve 4 kvadrantech |
živé zobrazení ve 4 kvadrantech |
průměrování nebo integrace 256 snímků |
Generátor digitálního modelování FIB |
rozlišení 4000 × 4000 pixelů |
Minimální prodleva: 100 ns |
Maximální prodleva: 4 ms |
Dokumentace |
pracovní příručka v angličtině a v češtině na CD |
on-line pomoc |
Volitelné položky systému |
Omniprobe (pro přípravu TEM) |
Držáky 125, 150 a 200 mm oplatek |
AutoFIB automatizace pro mnohostranné požadavky vymílání vzorku |
AutoTEM automatizace pro přípravu TEM vzorků |
Knights Camelot CAD software plus údržba |
Plynová chemie GIS: až 5 chemismů pro zvýšené leptání nebo depozici: |
Ukládání wolframu, platiny a uhlíku |
ukládání izolantu (SiO2) s TEOS |
zvýšené leptání izolantu (XeF2) |
zvýšené leptání kovu a křemíku (jód) |
zvýšené leptání řezu mědi a organických látek (H2O) |
Požadavky na instalaci |
napájecí napětí: 230V (+ 6%, - 10%), frekvence: 50 nebo 60 Hz (± 1%), příkon: < 3.0 kVA pro základní
mikroskop |
teplota prostředí: 20°C ± 3°C, relativní vlhkost pod 80 %, rozptýlené magnetické pole střídavého
proudu: < 100 nT asynchronní, < 300 nT synchronní |
hlučnost: < 60 dB |
stlačený vzduch 4-6 barů - čistý, suchý a bez oleje |
chladič systému |
šířka dveří: 120 cm |
hmotnost: pult kolony 700 kg |
nahoru