Nový Magellan™ 400/L SEM je první přístroj SEM, který nabízí rozlišení pod nanometr v celém rozsahu urychlovacího napětí od 1 kV do 30 kV, a tím vytváří novou kategorii výkonu pojmenovanou jako XHR SEM. Jeho výjimečný výkon při nízkém napětí dává extrémně vysoké rozlišení, které podává takové specifické informace o povrchu, které nejsou jednoduše dosažitelné jinými technikami. Magellan
400 rozšiřuje schopnosti budoucích technologií a nabízí komplexní řešení pro základní výzkum, zpracování a vývoj nových materiálů a sledování procesů. Poskytuje rychlé vysoce kontrastní zobrazování s rozlišením pod nanometr a s úplnou schopností analýzy velkých nebo vícenásobných vzorků včetně řezů.
Vrcholná výkonnost Magellanu 400 je umožněna díky unikátní konstrukci elektronové kolony integrující novou FEI patentovanou UC technoligií (snížení efektů chromatické aberace) spolu s vysoce stabilní platformou a nejnovějším piezolektrickým stolkem 100 mm motorizovaným v 5 osách. Integrovaný plasmový čistič a vymražovací zařízení s kapalným dusíkem zajišťuje čistotu vzorku.
Magellan 400 doplňuje svůj unikátní výkon s vysokorozlišovacím STEM zobrazením při vyšších energiích, a úplnou analytiku včetně EDS a EBSD analýzy.
Verze 400L standardně obsahuje automatické vkládání vzorku Loadlock, vtažitelný vCD, shodu se směrnicemi S2, joystik
a ruční uživatelské rozhraní.
Specifikace Magellan 400 |
Elektronová optika |
FE-SEM kolona s UHR imersní čočkou s elektronovým dělem Elstar, Schottkyho emitorem, schopností výměny za provozu a UC technologií
-
60° duální čočka objektivu s ochranou pólového nástavce
-
vyhřívané clony objektivu
-
Electrostatické rastrování
-
čočka s konstantním proudem ConstantPower™
-
zpomalování svazku
|
Životnost elektronového zdroje - 12 měsíců |
Rozlišení |
při optimální WD |
0.8 nm při 15 kV |
| 0.8 nm při 2 kV |
0.9 nm při 1 kV |
1.5 nm při 200 V |
v koincidenčním bodě |
0.8 nm při 15 kV |
0.9 nm při 5 kV |
1.2 nm při 1 kV |
max. šířka zorného pole |
E-svazek: 1,5 mm v kooincidenčním bodě svazku (WD 4 mm) |
urychlovací napětí |
50 V - 30 kV |
proud svazku: |
1 pA až 22 nA |
Vakuový systém |
1 × TMP |
1 × PVP |
2 × IGP |
Vakuum v komoře |
< 2.6 × 10-6 mbar (po 24 h odčerpávání) |
Detektory |
NG detektor v čočce (TLD) pro SE a BSE elektrony |
Everhardt Thornleyův SED pro sekundární elektrony |
IR-CCD |
Vtažitelný nízkonapěťový vysoce kontrastní SS
detektor (vCD), NSR |
Komora a velikost vzorku |
Koincidenční bod elektronového svazku a EDX při 4 mm WD |
Maximální velikost vzorku: 100 mm průměr s úplnou rotací |
Max. tloušťka (přes loadlock, standardní člunek včetně nosiče nebo jiného typu držáku): 8,7 mm |
Maximální tloušťka (přes dvířka komory): 20 mm |
Hmotnost: 200 g (včetně držáku) |
Stolek UHR motorizovaný v 5 osách |
Mechanicky nakláněný eucentrický stolek s posunem obrazu < 5 µm
při náklonu z 0° na 52° |
X, Y |
100 mm |
Z |
do 20 mm |
náklon |
-10° až +60° |
otáčení |
720° zdvih |
opakovatelnost X,Y |
0,5 µm |
přesnost X,Y |
< 1,5 µm |
Držáky vzorku |
Vícenásobný držák (standardně pro 400 L) |
Držák řezů (standardně pro 400 L) |
Samostatný nosič montovaný přímo na stolek |
Různé držáky oplatek a volitelné držáky k dispozici na vyžádání |
Obrazový procesor |
Rozsah doby prodlevy od 0,025 do 25000 µs/pixel |
Až 4096 × 3536 pixel |
| Typ souborů: TIFF (8, 16, 24 bitů), BMP nebo JPEG |
Obrazový displej v jednom rámu nebo 4 kvadrantech |
Různé průměrování nebo integrace až 256 snímků |
Ovládání systému |
32-bitové grafické uživatelské rozhraní s Windows®XP SP2, klávesnice, optická myš |
2 × 19" LCD monitor, SVGA 1280 × 1024 |
Softwarově řízený přepínač |
Joystick |
Multifunkční ovládací panel |
Požadavky na instalaci |
napájecí napětí: 230V (+ 6%, - 10%) |
frekvence: 50 nebo 60 Hz (± 1%) |
příkon: < 3,0 kVA pro základní mikroskop |
prostředí: |
teplota 20°C ± 3°C |
relativní vlhkost pod 80 % |
rozptýlené magnetické pole střídavého proudu: < 100 nT asynchronní, < 300 nT synchronní |
šířka dveří: 120 cm (nebo 90cm po odstranění loadlocku a potrubí) |
hmotnost: pult kolony 850kg |
Suchý dusík: |
systém (0,7 až 0,8 bar, max 10 l/min
během odvětrávání) |
sušící čerpadlo (1,0 bar, 2 l/min) |
Stlačený vzduch: |
4 až 6 bar - čistý, suchý a bez oleje |
Chladič systému |
Akustické směrnice:
< 55 dB (bez akustického uzávěru)
< 70 dBC (s akustickým uzávěrem) |
Odstínění vibrací podlahy |
nahoru