Rastrovací elektronové mikroskopy - SEM

SEM kolona s vysoce výkonnou termální emisí, s geometrií duální anody emisního zdroje, fixní clonou objektivu a diferenčním odčerpáváním přes čočku

životnost vlákna > 100 hodin

vysoké vakuum

3.0 nm při 30 kV (SE)

10 nm při 3 kV (SE)

4.0 nm při 30 kV (BSE)

vysoké vakuum se zpomalením svazku*

6.2 nm při 3 kV (režim BD* + vCD*)

nízké vakuum

3.0 nm při 30 kV (SE)

4.0 nm při 30 kV (BSE)

10 nm při 3 kV (SE)

urychlovací napětí

200 V - 30 kV

proud svazku:

až do 2 µA - kontinuálně nastavitelný

zvětšení

20 až 1 000 000 × (v jednom kvadrantu)

vysoké vakuum

< 6 e^-4 Pa

nízké vakuum

10 - 130 Pa

Everhardt-Thornleyův SED

nízkovakuový SED (LFD) s velkým zorným polem

nízkonapěťový SS-BSED s vysokou citlivostí*

IR kamera pro sledování vzorku v komoře*

4-kvadrantový SS-BSED*

scintilátor BSED/CLD*

vCD (nízkonapěťový vysoce kontrastní detektor)*

měření proudu elektronového svazku*

plynový analytický BSED (GAD)*

STEM detektor*

Nav-Cam™ barevná optická kamera pro navigaci vzorku*

katodoluminiscenční detektor*

EDS*

WDS*

EBSD*

1 × TMP (240 l/s)

1 × PVP

284 mm zleva doprava

10 mm analytická pracovní vzdálenost

8 portů

úhel vyzařování EDX: 35°

eucentrický goniometr

X

50 mm

Y

50 mm

Z

50 mm (25 mm motoricky)

náklon

-15° až +75° (manuálně)

otáčení

360° kontinuálně

opakovatelnost

2 µm

eucentrický náklon v 10 mm analytické vzdálenosti

posuny x a y jsou v nakloněné rovině

zpomalení svazku (čočka katody/předpětí vzorku)*

Maximální průměr

> 100 mm

Maximální tloušťka

50 mm

Hmotnost

1 000 g (bez náklonu)

32-bitové grafické uživatelské rozhraní s Windows®XP, klávesnice, optická myš

obrazový displej

1/2* × 19" LCD monitor, SVGA 1280 × 1024

SmartSCAN™ až do 4096 × 3536 pixelů (~14 MPix)

typ souborů

TIFF (8 nebo 16 bitů), BMP nebo JPEG

pracovní příručka v angličtině a v češtině na CD

on-line pomoc

školící CD "Getting started"

volný přístup do zdrojů FEI pro vlastníky

volné členství v klubu uživatelů FEI ESEM

decelerace svazku

ruční uživatelské rozhraní

pomocný počítač (včetně druhého 19-palcového LCD monitoru)

kryo-čistič, náhradní nádoba kryočističe

joystick

měřidlo proudu vzorku

software dálkového ovládání

akustický uzávěr vakuového čerpadla

7 nebo 52-kolíková elektrická průchodka

sada pro kompletaci WDX

sada držáků vzorku

EDS

WDS

EBSD

kryo stolek

napájecí napětí: 230V (+ 6%, - 10%)

frekvence: 50 nebo 60 Hz (± 1%)

příkon: < 3.0 kVA pro základní mikroskop

prostředí:

teplota 15 - 25°C

relativní vlhkost pod 80 %

rozptýlené magnetické pole střídavého proudu: < 40 nT asynchronní, < 300 nT synchronní

šířka dveří: 90cm

hmotnost: pult kolony 751kg

suchý dusík: systém (0,7 až 0,8 bar, max. 10 l/min během odvětrávání); čerpadlo (1 bar, 2 l/min)

Vysokorozlišovací SEM kolona optimalizovaná pro vysoký jas/vysoký proud s vysokorozlišovacím Shottkyho termálním autoemisním zdrojem

45° geometrie čočky objektivu s ohřívanými clonami objektivu

vysoké vakuum

0.8 nm při 30 kV (STEM) *

1.0 nm při 30 kV (SE)

2.5 nm při 30 kV (BSE)

3.0 nm při 1 kV (SE)

vysoké vakuum se zpomalením svazku*

3.0 nm při 1 kV (režim BD* + BSE)

2.3 nm při 1 kV (režim BD* + ICD*)

3.1 nm při 200 V (režim BD* + ICD*)

urychlovací napětí

200 V - 30 kV

proud svazku:

až do 200 nA - kontinuálně nastavitelný

zvětšení

20 až 1 000 000 × (v jednom kvadrantu)

vysoké vakuum

< 6 e^-4 Pa

Everhardt-Thornleyův SED

nízkonapěťový SS-BSED s vysokou citlivostí*

IR kamera pro sledování vzorku v komoře*

4-kvadrantový SS-BSED*

scintilátor BSED/CLD*

vCD (nízkonapěťový vysoce kontrastní detektor)*

detektor v koloně (ICD) pro sekundární elektrony v režimu BD*

měření proudu elektronového svazku*

plynový analytický BSED (GAD)*

STEM detektor*

Nav-Cam™ barevná optická kamera pro navigaci vzorku*

katodoluminiscenční detektor*

EDS*

WDS*

EBSD*

1 × TMP (240 l/s)

1 × PVP

2 × IGP

284 mm zleva doprava

10 mm analytická pracovní vzdálenost

8 portů

úhel vyzařování EDX: 35°

eucentrický goniometr

X

50 mm

Y

50 mm

Z

50 mm (25 mm motoricky)

náklon

-15° až +75° (manuálně)

otáčení

360° kontinuálně

opakovatelnost

2 µm

eucentrický náklon v 10 mm analytické vzdálenosti

posuny x a y jsou v nakloněné rovině

zpomalení svazku (čočka katody/předpětí vzorku)*

Maximální průměr

> 100 mm

Maximální tloušťka

50 mm

Hmotnost

1 000 g (bez náklonu)

32-bitové grafické uživatelské rozhraní s Windows®XP, klávesnice, optická myš

obrazový displej

1/2* × 19" LCD monitor, SVGA 1280 × 1024

SmartSCAN™ až do 4096 × 3536 pixelů (~14 MPix)

typ souborů

TIFF (8 nebo 16 bitů), BMP nebo JPEG

pracovní příručka v angličtině a v češtině na CD

on-line pomoc

školící CD "Getting started"

volný přístup do zdrojů FEI pro vlastníky

volné členství v klubu uživatelů FEI ESEM

decelerace svazku

ruční uživatelské rozhraní

pomocný počítač (včetně druhého 19-palcového LCD monitoru)

kryo-čistič, náhradní nádoba kryočističe

joystick

automatický systém clon (AAS)

měřidlo proudu vzorku

software dálkového ovládání

video tiskárna

sada držáků vzorku

akustický uzávěr vakuového čerpadla

7 nebo 52-kolíková elektrická průchodka

elektrostatický přerušovač svazku

sada pro kompletaci WDX

EDS

WDS

EBSD

kryo stolek

napájecí napětí: 230V (+ 6%, - 10%)

frekvence: 50 nebo 60 Hz (± 1%)

příkon: < 3.0 kVA pro základní mikroskop

prostředí:

teplota 20°C ± 3°

relativní vlhkost pod 80 %

rozptýlené magnetické pole střídavého proudu: < 40 nT asynchronní, < 300 nT synchronní

hlučnost: < 68 dB

suchý dusík: systém (0,7 až 0,8 bar, max. 10 l/min během odvětrávání); čerpadlo (1 bar, 2 l/min)

stlačený vzduch 4 - 6 barů, čistý, suchý a bez oleje

chlazení vodou se požaduje jedině tehdy, pokud místnost nesplňuje požadavky předinstalačních instrukcí

šířka dveří: 90cm

hmotnost: pult kolony 530 kg

hmotnost: elektrický pult 139 kg